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  • 基于铋系存储材料的铁电动态随机存储器及其制备w88优德 安卓下载
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       CN201010202569.8
       清华大学
       发明授权
       谢丹;罗亚烽;冯婷婷;韩学光;任天令;刘理天

    项目介绍

    基于铋系存储材料的铁电动态随机存储器及其制备w88优德 安卓下载

    专利(申请号)
    CN201010202569.8
    申请人
    清华大学
    IPC分类号
    H01L27/115(2006.01)I; H01L21/02(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;G11C11/22(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I
    专利类型
    发明授权
    公开号
    CN101872768A
    保护年限
    代理机构
    -
    代理人
    -
    公开日
    1288108800000
    发明设计人
    谢丹;罗亚烽;冯婷婷;韩学光;任天令;刘理天

    摘要

    本发明涉及基于铋系存储材料的铁电动态随机存储器及其制备w88优德 安卓下载,属于微电子新材料与器件技术领域,该器件的区别特征为隔离层介质为:ZrO2或TiO2;铁电薄膜层为BXT或BXFY中的任意一种:其中,X为掺杂的稀土元素,Y为掺杂的过渡金属元素。该w88优德 安卓下载包括:对硅衬底进行清洗及氧化:光刻形成源漏区和衬底接触区后生长氧化层:再光刻形成栅区后生长隔离层介质薄膜和铁电薄膜;在铁电薄膜上溅射电极金属层;再光刻和刻蚀形成栅电极、接触孔;源极、漏极以及衬底接触金属层及电极金属层;最后合金化处理。本发明可获得大面积、均匀致密的、性能良好的存储介质薄膜和隔离层材料,用其制备的FEDRAM器件具有更小的漏电,更高的保持特性。

    主权项

    状态信息

    法律状态 费用信息 实施许可 质押保全 专利转移

    法律状态
    公告日
    详情
    专利权的终止
    2019.05.31
    未缴年费专利权终止
    IPC(主分类):H01L 27/115
    申请日:20100611
    授权公告日:20120111
    终止日期:20180611
    公开
    2010.10.27
    公开
    授权
    2012.01.11
    授权
    实质审查的生效
    2010.12.08
    实质审查的生效
    号牌文件类型代码:1604
    号牌文件序号:101021883910
    IPC(主分类):H01L 27/115
    专利申请号:2010102025698
    申请日:20100611
    费用种类
    费用金额(单位:元)
    缴费人信息
    处理状态
    缴费日
    印花税
    5
    清华大学
    暂未处理
    2011.11.11
    优德w88软件下载登记印刷费
    250
    清华大学
    暂未处理
    2011.11.11
    优德w88软件下载第2年年费
    270
    清华大学
    暂未处理
    2011.11.11
    优德w88软件下载申请审查费
    750
    清华大学
    暂未处理
    2010.07.16
    优德w88软件下载文印费
    50
    清华大学
    暂未处理
    2010.07.16
    优德w88软件下载申请费
    270
    清华大学
    暂未处理
    2010.07.16
    优德w88软件下载第3年年费
    270
    清华大学
    暂未处理
    2012.05.25
    优德w88软件下载第8年年费
    2000
    清华大学
    暂未处理
    2017.06.16
    优德w88软件下载年费滞纳金
    400
    清华大学
    暂未处理
    2016.10.21
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    600
    清华大学
    暂未处理
    2016.10.21
    优德w88软件下载第6年年费
    1200
    清华大学
    暂未处理
    2015.05.29
    优德w88软件下载第5年年费
    1200
    清华大学
    暂未处理
    2014.06.06
    优德w88软件下载第4年年费
    360
    清华大学
    暂未处理
    2013.11.08
    优德w88软件下载年费滞纳金
    240
    北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
    暂未处理
    2013.11.08
    名称
    许可种类
    让与人
    受让人
    当前受让
    备案日
    变更日
    解除日
    名称
    质押保全类型
    出质人
    质权人
    当前质权人
    生效日
    变更日
    解除日
    名称
    信息转移类型
    变更前权利人
    变更后权利人
    当前权利人
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    当前地址
    生效日
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